微纳敏感器件

面向医疗大数据和健康物联网对终端微型化、集成化敏感器件的需求,重点研究微纳尺度的高灵敏生物信息感知器件,属于信息、材料、生物医学等多学科交叉的应用基础研究。通过微电子技术和分子生物技术的交叉融合,将宏观体声波敏感理论扩展到微纳尺度,突破了微纳谐振器件设计和跨尺度制造方法的关键科学问题,解决了质量纳米敏感表面的功能化调控问题,发展了集成化硅基痕量分子检测器件和可延展基底的皮肤电子器件。

主要研究内容包括:(1)微纳尺度压电谐振敏感结构及制造方法。针对矿山环境监控、爆炸性气体检测、疾病诊断和人体生理指标探测等应用要求,基于跨尺度的微纳制造方法,研究基于压电微纳谐振结构的普适维质量敏感器件;(2)微质量敏感传感器对目标分子选择性增强吸附的表面纳米改性方法。研究对特征气体、疾病标志物分子等具有较强的特异吸附性的碳纳米管、石墨烯、生物抗体分子等敏感吸附结构及其操控方法;(3)面向可穿戴电子的应用需求,发展人体皮肤延展性的可穿戴电子器件,对健康生理指标进行高灵敏探测。

近五年来,承担国家自然科学基金面上项目1项、青年基金项目2项、各类省市科研项目4项,出版专著2部,在Carbon、Biosensors and Bioelectronics、Sensors and Actuators B等期刊发表SCI论文40余篇,论文他引100余次。授权专利10余项,先后获得省教育厅奖励3项。研究成果被科学媒体 “Vertical News”、 “NewsRx”等多次报道,特别是在微纳材料与器件方面的工作被英国电子电气工程师协会会刊IET Electronics Letters撰写封面文章报道。

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